爆出个同步辐射光源瞬间突破euv

捱多年

说是年底就能量产这不是逼死asml么

zgj

集中式光源，哈哈

国望堂

老外一丝不苟的精神限制了他们的创意
国人的思维非常善变，头脑灵活

爽神兄弟

https://view.inews.qq.com/k/2021 ... D%E8%B7%AF%E3%80%82,%E5%9B%A0%E6%AD%A4%EF%BC%8C%E3%80%8ANature%E3%80%8B%E8%AF%84%E9%98%85%E4%BA%BA%E5%AF%B9%E8%BF%99%E9%A1%B9%E5%AE%9E%E9%AA%8C%E6%88%90%E6%9E%9C%E7%BB%99%E4%BA%88%E4%BA%86%E9%AB%98%E5%BA%A6%E8%AF%84%E4%BB%B7%EF%BC%8C%E8%AE%A4%E4%B8%BA%E8%AF%A5%E9%A1%B9%E7%A0%94%E7%A9%B6%E5%B1%95%E7%A4%BA%E4%BA%86%E4%B8%80%E7%A7%8D%E6%96%B0%E7%9A%84%E6%96%B9%E6%B3%95%E8%AE%BA%EF%BC%8C%E8%BF%99%E5%BF%85%E5%B0%86%E5%BC%95%E8%B5%B7%20%E7%B2%92%E5%AD%90%E5%8A%A0%E9%80%9F%E5%99%A8%E5%92%8C%E5%90%8C%E6%AD%A5%E8%BE%90%E5%B0%84%20%E9%A2%86%E5%9F%9F%E7%9A%84%E5%85%B4%E8%B6%A3%E3%80%82

国望堂

看电视或DY，荷兰的光刻机是内置光源的，要有很多的透镜组，这些透镜的制造、安装的精度要求非常高，如果采用外置光源，省去复杂的透镜系统，光刻会不会更容易实现？

jiang12345

最近有新消息了？

whseen

原来是光刻机用的，自由电子激光器也是头次听说。

国望堂

光刻技术的突破应该在5年10年前就开始讨论方案，几种方案同步实施，年底搞出来很有可能，甚至现在已在使用都有可能。

4232605

预计明年统治全球，中国人雄起了

heilix

国望堂 发表于 2023-9-14 08:10
老外一丝不苟的精神限制了他们的创意
国人的思维非常善变，头脑灵活

https://baike.baidu.com/item/%E5 ... 0/3412580?fr=ge_ala

第六章节中写到:

上海同步辐射装置（Shanghai Synchrotron Radiation Facility，简称 SSRF），是一台世界先进的中能第三代同步辐射光源，总投资计划12亿人民币。上海同步辐射装置的电子储存环电子束能量为3.5GeV（35亿电子伏特），仅次于世界上仅有的三台高能光源（美、日、欧各一台），居世界第四，超过其它所有的中能光源； X射线的亮度和通量被优化在用户最多的区域[2]。

fly1008

发信人: Zinux (Zinux), 信区: ITExpress
标 题: 用同步辐射光源实现EUV弯道超车是可行
发信站: 水木社区 (Fri Sep 8 14:12:13 2023), 站内

简单看了看同步辐射光源的技术资料
似乎只是一个初期投入大、没法搬动的问题，可以搞个Fab集群，共享同步辐射光源厂，
类似电厂。通过它实现各种波长和大功率的光源输出，且更纯净。

现在ASML的LPP用20万瓦的二氧化碳激光去轰击锡滴来产生300瓦的EUV，然后通过收集镜
，照明反射镜和投影物镜经过11次反射后到达硅片表面，每次反射损耗30%能量，最终到
达硅片的能量只有可怜的300瓦x2%=6瓦。为了解决锡污染，有搞了一堆特殊镜头。然后
为了进一步提高波长，刚上了High NA，就为了将分辨率从13nm降到8nm，避免3nm以下多
重曝光。

我们完全可以一力降十会，大力出奇迹，直接上同步辐射光源。
省掉各种复杂的光路和精度极高的镜片组，直接来上千W的8nm波长。
EUV的三大难点：光源、物镜和工作台，直接跳过前俩，只要保证双工作台的精度就行。

EUV在十几平米内实现一个功率不低的波长极短的光源，属于自讨苦吃。类似于精巧的内燃
机，实现复杂且难度极高，能耗也极高。
我们可以把内置光源从光刻机删去，在Fab外部建设几千平米的同步辐射光源厂，实现光源
外置和Fab集群的共享。
光刻机则从外部接入合适的功率和波长的光，完成高精度光刻。

将原来EUV这精巧的内燃机，变成“**电厂+电动机”，大大降低整体设计和生产难度。

而一个同步辐射光源厂的投资并不大，上海同步辐射装置是一台世界先进的中能第三代同步
辐射光源，总投资计划12亿人民币，也就是一台EUV的钱而已。

=============================================

PS：刚好又找到了一些资料和现实数据，补充了一个成本估算
https://www.newsmth.net/nForum/#!articl ... ss/2482289


国内现在还想通过SSMB搞同步辐射光源
==========================================

黄伟佳介绍了清华大学作为法人单位牵头建设国家重大科技基础设施的相关情况以及稳态微
聚束极紫外光源（SSMB-EUV）项目在雄安新区落地的相关情况和近期工作安排；潘志龙向与
会人员介绍了SSMB-EUV项目的基本概况和应用前景。

https://mp.weixin.qq.com/s/5IZBlfFYKnmPCSxprFrivg
https://www.tsinghua.edu.cn/info/1175/21516.htm

苏呆子

这是对外的烟雾弹，迷惑敌人，真真假假，假假真真，削弱其斗志

fly1008

苏呆子 发表于 2023-9-14 10:16
这是对外的烟雾弹，迷惑敌人，真真假假，假假真真，削弱其斗志

euv光源据说有三条技术路线，这是其中之一。好像项目已经开工

fly1008

能造5nm芯片的EUV光刻机，三大核心技术均已被我国突破
2023-04-28 16:30

远方青木

能够制造5nm芯片的EUV光刻机，其三大核心技术均已被我国突破，高端制程的芯片制造已彻底为我国打开了大门。
...
EUV光刻机共有三大核心技术，分别为EUV光源系统，高精度弧形反射镜系统、超高精度真空双工件台
...
早在2015年，中国的长春光机所就已经研发出了EUV光刻机的高精度弧形反射镜系统，多层层镀膜面形误差小于0.1nm，达到了EUV级光刻机的标准。

但这套系统有个小问题，并非所有零部件都是国产的，其中镀膜装置采购自海外。

放在外国的话，长春光机所的这项技术就已经是人类最顶尖级别的了，但当被禁售制裁导致镀膜装置买不到后就全废了。

我们知道如何制造人类最顶级的高精度弧形反射镜系统，但缺少镀膜装置这个零部件，导致整个系统都无法制造。

2021年7月，中科院控股企业北京中科科美成功研发出镀膜精度控制在0.1nm以内的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置，满足了长春光机所对零部件的技术要求。

中科科美研发的镀膜装置送到长春光机所后，我国立刻制造出了EUV级光刻机级别的高精度弧形反射镜系统。

这次纯国产，每一个零部件都是国产。
...

2022年，哈工大传来喜讯，该大学科研组成功研发出真空用超高精度激光干涉仪，位移分辨力5pm，位移测量标准差达到30pm，关键指标与ASML最高水平接近，满足EUV真空双工件台对高速超精密激光干涉仪的精度要求。

双工件台造起来不难，但双工件台的工作精度由激光干涉仪决定。

我国突破了真空用超高精度激光干涉仪的关键技术，就可以轻松制造超高精度的真空双工件台。

凭此贡献，哈工大于2022年荣获中国光学领域最高荣誉金隧奖，并在金奖名单里位列第一。
...
为什么美国要把哈工大列入制裁实体清单，拼命遏制这个学校的发展，现在你应该知道了。
...
因为哈工大的贡献，EUV级光刻机的三大核心技术的第二项，被我国成功突破。

还剩下的那最后一项是EUV光源系统，也是核心的核心。

光刻机光刻机，听名字你就知道光源才是最核心的东西，而EUV光源则是EUV光刻机的心脏部件。

这玩意全球只有美国会造，多年来都明文列入瓦森纳协定，美国麾下的42个瓦森纳成员国集体对中国严格禁售。

没有EUV级光源，哪怕其他光刻机部件中国全都造出来了也没用。
2022年下半年，有小道消息说中国已成功研发出EUV级光源，但并没有官方信息证实。

2023年4月13日，长春光机所官网公布消息，中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼在长春光机所参观了EUV光源系统。
...
http://life.taocms.org/04/62458.htm

mxp92731

国望堂 发表于 2023-9-14 08:10

                               
登录/注册后可看大图

老外一丝不苟的精神限制了他们的创意
国人的思维非常善变，头脑灵活

这俩词原先一个是夸狗日的，一个是夸美国的

山丘

国望堂 发表于 2023-9-14 08:10
老外一丝不苟的精神限制了他们的创意
国人的思维非常善变，头脑灵活

目的不同吧，老外是为了造光刻机，我们是为了生产芯片。

penetrating

不管采用什么技术路径，有两点是肯定的：一是叹息的墙壁一定会被彻底打破；二是破壁的时间一定比起初估计的要短得多。

山丘

苏呆子 发表于 2023-9-14 10:16
这是对外的烟雾弹，迷惑敌人，真真假假，假假真真，削弱其斗志

听说是多条线路共同推进研发。

国望堂

苏呆子 发表于 2023-9-14 10:16
这是对外的烟雾弹，迷惑敌人，真真假假，假假真真，削弱其斗志

兔子肯定在造几把刀，这是有历史证明了的

苏呆子

美国重点不在华为，正所谓杀敌一千自损八百，而且芯片技术美国专利最多，得益最多，美国只不过想割中国韭菜，为双方经贸谈判获得更多筹码罢了，华为成了牺牲品罢了，中美战略谈判美方咄咄逼人，根本就不要脸的讹诈中国，气得中方爆跳如雷，美国没有资格在中国的面前说，你们从实力的地位出发同中国谈话。